2006年12月26日，教育部科学技术委员会全体会议在北京开幕，“2006年度中国高等学校十大科技进展”揭晓与颁奖仪式隆重举行。教育部赵沁平副部长亲临大会作重要讲话，并向获奖者颁发证书。我校副校长任晓敏教授研究组的一项科研成果“高速窄线宽可调谐的解复用光接收集成器件及其关键制备工艺”获此殊荣。这是自1998年教育部设立“中国高等学校年度十大科技进展”评选奖励制度以来，我校作为项目主持单位所取得的科研成果首次入选。

该成果是在国家973计划、国家自然科学基金重大研究计划、国家杰出青年科学基金等方面的支持下完成的，是一项集光电子器件原理创新、结构创新和关键制备工艺创新于一体的系统性原创成果。

上世纪90年代初，随着高速光纤通信系统的发展，谐振腔增强型（RCE）光探测器应运而生，从而解决了在传统的PIN光探测器中高速率和高量子效率不可兼得的问题。这是半导体光探测器发展史上的一次革命。此后，随着波分复用光网络的兴起，研制性能更高的具有可调谐、波长解复用和高速、高量子效率光探测等多重功能的集成器件提上了议事日程，而RCE光探测器由于自身结构的局限性已无法适应和满足这一新的重大应用需求。于是，从事光电子器件研究的科学家们再次面临一系列新的难题和挑战。

本成果实际上是继RCE光探测器之后半导体光探测器研究领域中的又一次飞跃和突破。面对上述挑战，任晓敏教授创造性地提出了新颖独特的“一镜斜置三镜腔”器件结构及其“子腔间完全解耦”的原理，从理论上找到了近乎完美地解决上述一系列难题的突破口。随后，任晓敏教授带领其研究团队以“十年磨一剑”的专注与执著，潜心研究，相继发明了“外延层楔形微结构形成方法——可控自推移动态掩模湿法刻蚀”、“基于硫化物表面处理的低温半导体晶片键合”、“透明图形欧姆接触微结构及其制备”等多项关键工艺和结构，并攻克了“磷化铟-空气隙分布反馈反射器制备”及“垂直腔光电子器件中的波长调谐”等前沿技术，最终成功地实现了性能优异的新一代光探测器——“一镜斜置三镜腔”可调谐解复用光接收集成器件（速率>10 GHz，量子效率>78.4%，线宽10nm）。

该器件属世界首例，行将有力地推动和支撑新一代光通信系统与网络的发展，相关工艺发明具有重要的学科带动作用。教育部组织的成果鉴定会的结论意见称：该器件“具有原创性，拥有完全的自主知识产权，器件综合性能为国际领先水平”。在2006年中国工程院院士大会的相关报告中，该成果被列为我国信息技术创新的典型范例。著名光电子专家、美国工程院院士坎贝尔教授称任晓敏教授研究组的工作在世界上是“独一无二的”。诺贝尔物理学奖获得者、俄罗斯科学院副院长阿尔费罗夫院士认为“任晓敏教授通过引入奇妙的微结构而研制出的新颖的光探测器为半导体光电子学开辟了新的重要的可能性。构思和制备这样一些结构所形成的发明充满了想象力，确实很有价值。我对这些研究工作给予很高的评价，而且就我自己的观点而言，任晓敏教授的工作应该受到极高的褒赏”。

这一奖项为我校争得了荣誉，标志着我校应用基础研究方面的科研水平有了长足的进步，并将激励我们在科技创新的道路上向着更高的目标攀登。(摄影/刘如林)